Netiesinės difuzijos lygties sprendinio modeliavimas trimačiu atveju
Straipsniai
Sigita Turskienė
Šiauliai University
Arvydas Juozapas Janavičius
Šiauliai University
Publikuota 2014-12-15
https://doi.org/10.15388/LMR.A.2014.13
PDF

Kaip cituoti

Turskienė S. ir Janavičius A. J. (2014) „Netiesinės difuzijos lygties sprendinio modeliavimas trimačiu atveju“, Lietuvos matematikos rinkinys, 55(A), p. 68–72. doi: 10.15388/LMR.A.2014.13.

Santrauka


Darbe gautas trimatės netiesinės difuzijos lygties apytikslis sprendinys, kai difuzijos koeficientai x, y ir z kryptimis yra proporcingi priemaišų koncentracijai. Trimatės netiesinės difuzijos lygties sprendinys išdėstomas trijų automodelinių kintamųjų laipsnine eilute maksimalaus priemaišų įsiskverbimo taškų x, y ir z aplinkose įskaitant kvadratinius narius. Gautas sprendinys naudingas praktiniuose taikymuose nustatant technologinius parametrus difuzijos procesams vykstant puslaidininkinių
prietaisų gamyboje. Tai sudaro galimybę tiksliau modeliuoti integralines mikroschemas

PDF
Kūrybinių bendrijų licencija

Šis kūrinys yra platinamas pagal Kūrybinių bendrijų Priskyrimas 4.0 tarptautinę licenciją.

Susipažinkite su autorių teisėmis žurnalo politikoje skiltyje Autorių teisės.

Skaitomiausi šio autoriaus(ų) straipsniai